Т 38 Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 210100 "Электроника и микроэлектроника" : в 2 ч. / М. А. Королев [и др.] ; под общ. ред. Ю. А. Чаплыгина. - Москва : Бином. Лаборатория знаний, 2007 - . - (Электроника). - ISBN 978-5-94774-583-2. - Текст : непосредственный. Ч. 2 : Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования. - 2012. - 422 с. : рис., табл. ; 22 см. - Библиогр.: с. 410-422. - 1000 экз.. - ISBN 978-5-94774-585-6 (в пер.) : 303.60 р.
Рубрики: Интегральные схемы -- Учебные издания для высших учебных заведений Интегральные схемы -- Металлизация -- Учебные издания для высших учебных заведений Кремниевые структуры -- Учебные издания для высших учебных заведений Кл.слова (ненормированные): интегральные микросхемы -- кремниевые интегральные микросхемы -- микроэлектронные схемы интегральные -- интегральные схемы -- математическое моделирование -- технологические процессы (ТП) -- сверхбольшие интегральные схемы (СБИС) -- плазменные технологии Держатели документа: Тюменская ОНБ : Орджоникидзе, 59 Доп. точки доступа: Королев, Михаил Александрович Крупкина, Татьяна Юрьевна Путря, Михаил Георгиевич Шевяков, Василий Иванович Чаплыгин, Ю. А.\ред.\ Экземпляры всего: 1 КХ (С 6) (1) Свободны: КХ (С 6) (1) |