И20 Иванов, Роберт Дмитриевич. Катодный метод создания пленочных элементов микросхем / Р. Д. Иванов. - Москва : Энергия, 1972. - 111 с. : ил. ; 20 см. - (Б-ка радиотехнолога ; вып. 1). - Список лит.: с. 105-109 (101 назв.). - 7500 экз.. - 0.32 р. Рубрики: Пленки тонкие -- Получение. Микроэлектронные схемы интегральные -- Производство Держатели документа: Тюменская ОНБ Экземпляры всего: 1 ДП (1) Свободны: ДП (1) |