32
Н 25
Нанотехнологии в микроэлектронике = Nanotechnology in microelectronics / С. П. Авдеев, В. И. Авилов, В. О. Агеев [и др.] ; под редакцией О. А. Агеева, Б. Г. Коноплёва ; Южный федеральный университет, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения, Научно-образовательный центр "Нанотехнологии". - Москва : Наука, 2019. - 511 с. : [12] вкл. л., ил., фот. ; 24 см. - Парал. тит. л. и рез. англ. - Библиогр. в конце гл. - 300 экз.. - ISBN 978-5-02-040201-0 (в пер.) : 900.00 р.
ББК 32.844.1 + 30.600.3
Рубрики:
Нанотехнологии -- Применение в микроэлектронике
Кл.слова (ненормированные): углеродные нанотрубки -- зондовая микроскопия -- нанопьезотехника -- наноэлектроника -- самоорганизующиеся наноструктуры
Аннотация: В книге представлены результаты междисциплинарных фундаментальных, поисковых и прикладных научных исследований по разработке технологий получения новых наноматериалов и элементной базы электронных устройств новых поколений информационно-телекоммуникационных систем. Рассмотрены возможности практического применения методов проектирования и изготовления сверхбыстродействующих интегральных элементов СБИС и УБИС, многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, устройств нанопьезотроники, микроэлектронной сенсорики, нейроморфных систем и вакуумной микроэлектроники на основе использования перспективных методов нанотехнологии: молекулярно-лучевой эпитаксии, импульсного лазерного осаждения, плазмохимического осаждения из газовой фазы, сканирующей зондовой микроскопии и зондовой нанолитографии, фокусированных ионных пучков, электронно-лучевой обработки, а также перспективных методов планарной технологии поверхностной обработки.
Держатели документа:
Тюменская ОНБ : ул. Орджоникидзе, 59
Доп. точки доступа:
Авдеев, Сергей Петрович (канд. техн. наук ; 1962-)
Авилов, Вадим Игоревич (канд. техн. наук ; 1989-)
Агеев, Владислав Олегович
Агеев, Олег Алексеевич (доктор технических наук, профессор)\ред.\
Коноплев, Борис Георгиевич (доктор технических наук, профессор)\ред.\
Южный федеральный университет (Ростов-на-Дону)\\
Экземпляры всего: 1
КХ (С 6) (1)
Свободны: КХ (С 6) (1)
|