А 73 Ануров, Алексей Евгеньевич (кандидат технических наук). Средства создания устройств микросистемной техники: материалы, технологии, деградационные процессы, основные производители и тенденции развития : учебное пособие : для студентов, обучающихся по специальности 2.28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника" / А. Е. Ануров, П. И. Дидык, А. А. Жуков ; под редакцией А. А. Жукова. - Москва : КУРС, 2020. - 110, [1] с. : ил., табл. ; 22 см. - Сведения об авт. на 4-й с. обл. - Библиогр.: с. 100-109 (149 назв.). - 500 экз.. - ISBN 978-5-907228-73-3 (в пер.) : 495.00 р.
Рубрики: Микросистемная техника -- Учебные издания для высших учебных заведений Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника Аннотация: Учебное пособие включает в свой состав разделы, посвященные современным материаловедческо-технологическим вопросам изготовления устройств микросистемной техники, сведениям о системах автоматизированного проектирования, деградационным процессам под влиянием дестабилизирующих факторов, данным об основных разработчиках и производителях, а также прогнозу развития микросистемной техники. Держатели документа: Тюменская ОНБ : ул. Орджоникидзе, 59 Доп. точки доступа: Дидык, Павел Игоревич (кандидат технических наук) Жуков, Андрей Александрович (д-р техн. наук, микроэлектроника ; 1961-) Экземпляры всего: 1 КХ (С 6) (1) Свободны: КХ (С 6) (1) |