Л 22 Ланина, Эльвира Прокопьевна. Современные технологии производства интегральных схем : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки "Автоматизация технологических процессов и производств" / Э. П. Ланина. - Старый Оскол : ТНТ, 2022. - 310, [1] с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 309-311 (33 назв.). - 1000 экз.. - ISBN 978-5-94178-646-6 (в пер.) : 1025.00 р.
Рубрики: Интегральные схемы -- Производство -- Учебные издания для высших учебных заведений Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника Аннотация: В издании рассматриваются основы полупроводниковой электроники, принципы действия и особенности современных полупроводниковых приборов, используемых при построении микросхем вычислительной техники — от первых биполярных транзисторов до современных многозатворных 3D-транзисторов, перспективы дальнейшего развития элементной базы. Рассматриваются основные технологические процессы производства современных интегральных схем — от планарной технологии до методов прямой печати тонкоплёночных транзисторов и 3D-технологий, технологии производства микросхем из графена. Держатели документа: Тюменская ОНБ : ул. Орджоникидзе, 59 Экземпляры всего: 1 КХ (С 11) (1) Свободны: КХ (С 11) (1) |