Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32/Р 60 Автор(ы) : Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук) Заглавие : Основы микросенсорики : учебное пособие : для студентов учреждений высшего образования по специальностям "Микро- и наноэлектронные технологии и системы", "Квантовые информационные системы" Выходные данные : Москва; Вологда: Инфра-Инженерия, 2019 Колич.характеристики :286 с.: ил., портр.; 22 см Примечания : Библиогр.: с. 286 (6 назв.) ISBN (в пер.), Цена 978-5-9729-0336-8: ГРНТИ : 50.09.37 ББК : 32.965-044.3я73. LBC/M Предметные рубрики: Датчики Аннотация: Рассмотрены основные твердотельные датчики, применяемые преимущественно в наукоемких областях (точная механика и оптика, микро- и наноэлектроника, атомная энергетика, военное дело): датчики на основе гальваномагнитных эффектов, датчики давления, температуры и теплового излучения, скорости и ускорения, газоанализаторы, датчики влажности, изображения, детекторы радиоактивного излучения, актюаторы и сенсоры вакуумно-плазменных технологий, обеспечивающие высокое качество продукции при изготовлении указанных датчиков. Экземпляры :КХ (С 6)(1) Свободны : КХ (С 6)(1) Держатели документа: Тюменская ОНБ : Орджоникидзе, 59