Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 535/С56 Заглавие : Современные проблемы эллипсометрии : [Сб. статей] Выходные данные : Новосибирск: Наука. Сиб. отд-ние, 1980 Колич.характеристики :192 с.: ил.; 22 см Коллективы : Институт физики полупроводников (Новосибирск) Примечания : Библиогр. в конце статей : Предметные рубрики: Эллипсометрия Экземпляры :ДП(1) Свободны : ДП(1) Держатели документа: Тюменская ОНБ : ул. Орджоникидзе, 59 Доп. точки доступа: Ржанов, Анатолий Васильевич\ред.\ Институт физики полупроводников (Новосибирск)\\