Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32/А 73 Автор(ы) : Ануров, Алексей Евгеньевич (кандидат технических наук), Дидык, Павел Игоревич, Жуков, Андрей Александрович Заглавие : Средства создания устройств микросистемной техники: материалы, технологии, деградационные процессы, основные производители и тенденции развития : учебное пособие : для студентов, обучающихся по специальности 2.28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника" Выходные данные : Москва: КУРС, 2020 Колич.характеристики :110, [1] с.: ил., табл.; 22 см Примечания : Библиогр.: с. 100-109 (149 назв.). - Сведения об авт. на 4-й с. обл. ISBN (в пер.), Цена 978-5-907228-73-3: 495.00, р. ГРНТИ : 47.03 ББК : 32.844.1я73. LBC/M Предметные рубрики: Микросистемная техника Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника Аннотация: Учебное пособие включает в свой состав разделы, посвященные современным материаловедческо-технологическим вопросам изготовления устройств микросистемной техники, сведениям о системах автоматизированного проектирования, деградационным процессам под влиянием дестабилизирующих факторов, данным об основных разработчиках и производителях, а также прогнозу развития микросистемной техники. Экземпляры :КХ (С 6)(1) Свободны : КХ (С 6)(1) Держатели документа: Тюменская ОНБ : ул. Орджоникидзе, 59 Доп. точки доступа: Дидык, Павел Игоревич (кандидат технических наук) Жуков, Андрей Александрович (д-р техн. наук, микроэлектроника ; 1961-)