Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П4.5/И54 Заглавие : Импульсный отжиг полупроводниковых материалов Выходные данные : Москва: Наука, 1982 Колич.характеристики :208 с.: ил.; 21 см Примечания : Библиогр. в конце глав. - В надзаг.: Акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников : ББК : 6П4.522.13 Предметные рубрики: Полупроводниковые-- Легирование ионное Экземпляры :ДП(1) Свободны : ДП(1) Держатели документа: Тюменская ОНБ Доп. точки доступа: Ржанов, Анатолий Васильевич\ред.\