Влияние потенциала смещения на подложке на кристаллическую структуру и морфологию пленок ниобата бария-стронция, выращенных методом ВЧ-катодного распыления / А. В. Павленко, С. П. Зинченко, Д. В. Стрюков [и др.] // Неорганические материалы. - 2021. - Т. 57, № 4. - С. 398-403 : 5 рис. - Библиогр.: с. 403 (13 назв. )
. - ISSN 0002-337X
ББК 22.37
Рубрики:
Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные): ниобат бария-стронция -- тонкие пленки -- вч-распыление -- высокочастотное распыление -- потенциал смещения -- кристаллическая структура -- морфология пленок
Аннотация: Одностадийным методом ВЧ-катодного распыления керамической мишени стехиометрического состава Sr[0. 5]Ba[0. 5]Nb[2]O[6] в кислородной атмосфере на подложки MgO (001) в различных условиях (при различных величинах внешнего поля смещения) синтезированы пленки ниобата бария-стронция. Показано, что наличие смещающего напряжения в зависимости от его полярности приводит либо к увеличению потока структурообразующих элементов к подложке, либо к снижению и, как следствие, - к изменению скорости роста пленок без ухудшения морфологии поверхности, структурного совершенства и появления примесных фаз. Обсуждаются причины выявленных закономерностей.
Держатели документа:
ТОНБ
Доп. точки доступа:
Павленко, А. В.
Зинченко, С. П.
Стрюков, Д. В.
Федоренко, А. Г.
Назаренко, А. В.
Имеются экземпляры в отделах:
всего 1 : УЧЗПИ (4 этаж) (1)
Свободны: УЧЗПИ (4 этаж) (1)
|