М 20 Малыхин, Евдоким Михайлович. Плазменная очистка аморфного углерода с поверхности многослойных зеркал в EUV-литографии / Е. М. Малыхин, Д. В. Лопаев, А. Т. Рахимов [и др.] // Вестник Московского университета. Сер. 3, Физика. Астрономия. - 2011. - N 2. - С. 76-81. - Библиогр. в конце ст. . - ISSN 0579-9392
Рубрики: Физика Кл.слова (ненормированные): аморфный углерод -- EUV-литография -- многослойные зеркала -- взаимодействие плазмы с поверхностью Доп. точки доступа: Лопаев, Дмитрий Викторович Рахимов, Александр Турсунович Рахимова, Татьяна Викторовна Брагинский, Олег Владимирович Ковалев, Александр Сергеевич Васильева, Анна Николаевна Зырянов, Сергей Михайлович Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (22.08.2011г. Экз. 1 - ) (свободен) |