Попов, В. В. Методика измерения удельного сопротивления подложек полуизолирующего карбида кремния / В. В. Попов // Машиностроитель. - 2014. - № 11. - С. 27-33. - Библиогр.: с. 32-33 (39 назв.) . - ISSN 0025-4568
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): электроника свч -- монокристаллы -- производство монокристаллов -- подложки -- карбиды кремния -- полуизолирующие карбиды кремния -- удельное сопротивление -- измерение удельного сопротивления -- неразрушающий контроль -- технологический контроль -- индуцированные заряды Аннотация: Описан метод неразрушающего контроля удельного сопротивления подложек по определению времени рассасывания индуцированного заряда. Держатели документа: Тюменская ОНБ : ул. Орджоникидзе, 59 Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (26.11.2014г. Экз. 1 - ) (свободен) |