Характеристики зарядки диэлектрических пленок в зависимости от толщины при электронном облучении / А. В. Гостев [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2014. - Т. 78, № 9. - С. 1071-1076. - Библиогр.: c. 1076 (19 назв. )
. - ISSN 0367-6765
ББК 32.851
Рубрики:
Радиоэлектроника
Электровакуумные приборы
Кл.слова (ненормированные): диэлектрические пленки -- зарядка диэлектрических пленок -- мусковит -- полиметилметакрилат -- проводящие подложки -- сканирующие электронные микроскопы -- электронное облучение
Аннотация: Рассмотрены основные закономерности зарядки диэлектрических пленок на проводящей подложке при облучении электронами средних энергий. Получено расчетное соотношение, связывающее значение равновесного потенциала зарядки и толщины диэлектрической пленки. Аналитическое выражение хорошо согласуется с экспериментальными результатами в широком диапазоне энергий облучающих мишень электронов.
Держатели документа:
Тюменская ОНБ : ул. Орджоникидзе, 59
Доп. точки доступа:
Гостев, А. В.
Евстафьева, Е. Н.
Рау, Э. И.
Тагаченков, А. М.
Татаринцев, А. А.
Имеются экземпляры в отделах:
всего 1 : УЧЗПИ (4 этаж) (1)
Свободны: УЧЗПИ (4 этаж) (1)
|