Компьютерный анализ АСМ-изображений системы нанопор на поверхности структуры SiO[2]/Si, полученных методом имплантации ионами цинка / В. Н. Соколов [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2014. - Т. 78, № 9. - С. 1098-1102. - Библиогр.: c. 1102 (7 назв. )
. - ISSN 0367-6765
ББК 31.46
Рубрики:
Энергетика
Ядерные реакторы
Кл.слова (ненормированные): АСМ-изображения -- атомно-силовая микроскопия -- ионное легирование -- компьютерный анализ -- легирование цинком -- нанопоры -- термический отжиг
Аннотация: Проведено компьютерное исследование морфологических характеристик АСМ-изображений самоорганизованной системы поверхностных нанопор в структуре SiO[2]/Si (100). Эта система нанопор была получена методом ионного легирования Zn с последующим термическим отжигом. Исследование АСМ-изображений системы нанопор проводилось с помощью программного обеспечения “STIMAN 3D”. Дана корректная количественная оценка морфологии данной системы нанопор по ряду параметров, таких как эквивалентный диаметр, площадь, суммарная площадь и коэффициент формы. Корректная количественная оценка морфологии самоорганизованной системы поверхностных нанопор в структуре SiO[2]/Si (100) позволит уточнить возможные практические применения полученной системы нанопор в опто- и наноэлектронике.
Держатели документа:
Тюменская ОНБ : ул. Орджоникидзе, 59
Доп. точки доступа:
Соколов, В. Н.
Разгулина, О. В.
Привезенцев, В. В.
Петров, Д. В.
Имеются экземпляры в отделах:
всего 1 : УЧЗПИ (4 этаж) (1)
Свободны: УЧЗПИ (4 этаж) (1)
|