Гридчин, В. А. Численное моделирование при проектировании сенсоров давления / В. А. Гридчин, М. А. Чебанов, В. Б. Зиновьев // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 4. - С. 5-8. - Библиогр.: с. 8 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Радиоэлектроника Кибернетика Кл.слова (ненормированные): тензорезистивный сенсор давления -- метод конечных элементов -- упругие элементы -- нелинейность -- мезатензорезисторы -- численное моделирование Аннотация: Рассмотрен вариант тензорезистивного сенсора давления с упругим элементом в виде квадратной мембраны, на планарной стороне которой сформированы четыре углубления. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Чебанов, М. А. Зиновьев, В. Б. Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (13.05.2013г. Экз. 1 - ) (свободен) |