Электростатический МЭМС-ключ на структуре кремний- стекло / В. В. Платонов [ и др.]> // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 7. - С. 43-47. - Библиогр.: с. 47 (4 назв.)
. - ISSN 1813-8586 ББК 32.852
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы
Кл.слова (ненормированные): рабочее напряжение -- металлизация из алюминия -- электростатические актюаторы -- подвижные электроды -- мемс- переключатели -- удаление жертвенного слоя Аннотация: Рассмотрены основные преимущества МЭМС-переключателей. Приведены результаты реализации конструкции кремний-стекло с балочным креплением подвижных электродов, не имеющей в технологии изготовления операцию удаления жертвенного слоя.
Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Платонов, В. В. Генералов, С. С. Смехова, М. И. Амеличев, В. В. Поломошнов, С. А.
Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (02.08.2013г. Экз. 1 - ) (свободен)
|