Электростатический МЭМС-ключ на структуре кремний- стекло / В. В. Платонов [ и др.] // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 7. - С. 43-47. - Библиогр.: с. 47 (4 назв.)
. - ISSN 1813-8586
ББК 32.852
Рубрики:
Радиоэлектроника
Полупроводниковые приборы
Кл.слова (ненормированные): рабочее напряжение -- металлизация из алюминия -- электростатические актюаторы -- подвижные электроды -- мемс- переключатели -- удаление жертвенного слоя
Аннотация: Рассмотрены основные преимущества МЭМС-переключателей. Приведены результаты реализации конструкции кремний-стекло с балочным креплением подвижных электродов, не имеющей в технологии изготовления операцию удаления жертвенного слоя.
Держатели документа:
ТОНБ
Доп. точки доступа:
Платонов, В. В.
Генералов, С. С.
Смехова, М. И.
Амеличев, В. В.
Поломошнов, С. А.
Имеются экземпляры в отделах:
УЧЗПИ (4 этаж) (02.08.2013г. Экз. 1 - ) (свободен)
|