Абдуллаев, Д. А. Изменение набора применяемых материалов при уменьшении топологических норм производства интегральных микросхем / Д. А. Абдуллаев // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 5. - С. 32-38 : 7 рис., 3 табл. - Библиогр.: с. 37 (23 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): алюминиевые межсоединения -- диэлектрики -- интегральные микросхемы -- медные межсоединения -- микроэлектроника -- топологические нормы Аннотация: Описывается, как изменяется набор используемых материалов в производстве интегральных микросхем при переходе от топологических норм 180 нм к топологических нормам 32 и 22 нм. Держатели документа: ТОНБ Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (06.06.2014г. Экз. 1 - ) (свободен) |