Исследование анизотропных упругопластических свойств пленок beta-Ga[2]O[3], синтезированных на подложках SiC/Si / А. С. Гращенко [и др.] // Физика твердого тела. - 2018. - Т. 60, вып. 5. - С. 851-856 : 5 рис. - Библиогр. в конце ст. (22 назв.)
. - ISSN 0367-3294
ББК 22.379
Рубрики:
Физика
Физика полупроводников и диэлектриков
Кл.слова (ненормированные): si -- sic/si -- анизотропные свойства -- анизотропные упругопластические свойства -- галлий -- оксид галлия -- пленки оксида галлия -- подложки sic/si -- упругопластические свойства
Аннотация: Исследованы структурные и механические свойства пленок оксида галлия, выращенных на кремнии на кристаллографических плоскостях (001), (011) и (111) с буферным слоем карбида кремния.
Держатели документа:
ТОНБ
Доп. точки доступа:
Гращенко, А. С.
Кукушкин, С. А.
Николаев, В. И.
Осипов, А. В.
Осипова, Е. В.
Сошников, И. П.
Имеются экземпляры в отделах:
УЧЗПИ (4 этаж) (09.06.2018г. Экз. 1 - ) (свободен)
|