661.2/.6 Т 38
Технология глубокой очистки летучих алкоголятов элементов / Е. Е. Гринберг [и др.].> // Химическая промышленность сегодня. - 2013. - № 11. - С. 12-20. - Библиогр.: с. 20 (10 назв. )
. - ISSN 0023-110X ББК 35.20
Рубрики: Химическая технология Технология неорганических веществ
Кл.слова (ненормированные): глубокая очистка -- высокочистые летучие алкоголята -- оксиды -- паровая фаза -- элементоорганические соединения Аннотация: Рассмотрены вопросы технологии получения высокочистых летучих алкоголятов элементов III-V групп Периодической системы, используемых в процессах нанесения тонких покрытий, а также порошков простых оксидов и сложных оксидных композиций из паровой фазы.
Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Гринберг, Е. Е. Табунова, Н. Г. Левин, Ю. И. Стрельникова, И. Е. Рябцева, М. В. Амелина, А. Е. Федеральное государственное унитарное предприятие «Государственный ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский институт химических реактивов и особо чистых химических веществ» (ФГУП «ИРЕА») (Москва)
Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (10.12.2013г. Экз. 1 - ) (свободен)
|