Макаров, М. А. Расчет распределения толщины покрытия при магнетронном напылении сферических поверхностей / Макаров М. А., Сагателян Г. Р., Былинкин М. Н. // Естественные и технические науки. - 2018. - № 2 (116). - С. 140-142 : рис. - Библиогр.: с. 142 (2 назв.) . - ISSN 1684-2626
Рубрики: Приборостроение Проектирование приборов Кл.слова (ненормированные): магнетронное напыление -- сферические поверхности -- распределение толщины покрытия -- расчетная схема -- закон кнудсена-ламберта -- кнудсена-ламберта закон Аннотация: Предложена методика расчёта, основанная на применении закона Кнудсена-Ламберта к эмиссии из кольцевого источника напыляемого материала и его конденсации на сферической поверхности. Для определения угла падения используется скалярное произведение векторов. Получены расчётные зависимости толщины покрытия от угловых координат сферы. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Сагателян, Г. Р. (доктор технических наук) Былинкин, М. Н. Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (10.04.2018г. Экз. 1 - ) (свободен) |