Абдуллаев, Д. А. Реактивно-ионное травление пленок цирконата-титаната свинца : обзор / Д. А. Абдуллаев, Е. Н. Зубкова, К. А. Воротилов // Нано- и микросистемная техника. - 2015. - № 1. - С. 19-26 : 2 рис., 3 табл. - Библиогр. в конце ст. (18 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): МЭМС-устройства -- реактивно-ионное травление -- сегнетоэлектрики -- сегнетоэлектрические устройства -- цирконат-титанат свинца Аннотация: Рассмотрены вопросы реактивно-ионного травления пленок цирконата-титаната свинца в процессах создания интегрированных сегнетоэлектрических устройств, в том числе пьезоэлектрических МЭМС-устройств. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Зубкова, Е. Н. Воротилов, К. А. (доктор технических наук) Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (21.04.2015г. Экз. 1 - ) (свободен) |