Моделирование конструкции и способ изготовления 3D MEMS-структур тепловых приемников инфракрасного излучения = Design Modeling and Manufacture of 3D MEMS Structures for Thermal Detectors / Б. Г. Гончаренко [и др.] // Нано- и микросистемная техника. - 2015. - № 8. - С. 10-15 : 6 рис. - Библиогр. в конце ст. (9 назв.). - Текст парал.: англ., рус.
. - ISSN 1813-8586
ББК 32.85
Рубрики:
Радиоэлектроника
Электроника в целом
Кл.слова (ненормированные): 3D MEMS-структуры -- MEMS -- Micro-Electro-Mechanical Systems -- инфракрасное излучение -- микроэлектромеханические системы -- моделирование -- оптические преобразователи -- пироэлектрические электронно-оптические преобразователи -- преобразователи -- тепловые приемники -- электронно-оптические преобразователи
Аннотация: Представлена конструкция и способ изготовления чувствительного элемента теплового приемника инфракрасного излучения, выполненного на основе пластины на микромостиковых опорах из нитрида кремния.
Держатели документа:
ТОНБ
Доп. точки доступа:
Гончаренко, Б. Г.
Жуков, А. А. (доктор технических наук)
Зорин, С. М.
Козлов, В. В. (доктор технических наук)
Корпухин, А. С. (кандидат технических наук)
Салов, В. Д.
Имеются экземпляры в отделах:
всего 1 : УЧЗПИ (4 этаж) (1)
Свободны: УЧЗПИ (4 этаж) (1)
|