Гандилян, С. В. (кандидат технических наук). Некоторые вопросы обобщенного физико-математического моделирования микро- и наноэлектромеханических систем (МЭМС и НЭМС) = Several Issues of Generalized Physical and Mathematical Modeling of Microand Nanoelectromechanical Systems (MEMS and NEMS) / С. В. Гандилян // Нано- и микросистемная техника. - 2015. - № 8. - С. 15-32 : 5 рис. - Библиогр. в конце ст. (42 назв.). - Текст парал.: англ., рус. . - ISSN 1813-8586
Рубрики: Энергетика Полупроводниковые материалы и изделия Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- НЭМС -- микроэлектромеханические системы -- наноэлектромеханические системы -- физико-математическое моделирование Аннотация: Рассмотрены перспективные направления применения новейших достижений нанонауки и нанотехнологии в тех отраслях жизнедеятельности человека, в которых научно-технический прогресс базируется на комплексном применении электромеханических преобразователей энергии. Держатели документа: ТОНБ Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : УЧЗПИ (4 этаж) (1) Свободны: УЧЗПИ (4 этаж) (1) |