Взаимодействия электронного пучка с ячейкой памяти кристалла ИМС = Interaction of an Electron Beam with a Memory Cell of an IC Crystal / А. О. Гасников [и др.] // Нано- и микросистемная техника. - 2017. - Т. 19, № 12. - С. 752-756 : 3 рис., 2 табл. - Библиогр. в конце ст. (4 назв.). - Текст парал.: рус., англ. . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 32

Рубрики:
Радиоэлектроника
Радиоэлектроника в целом

Кл.слова (ненормированные): ИМС -- интегральные микроскопические схемы -- кристаллы ИМС -- электронные пучки -- ячейки памяти
Аннотация: Представлен анализ взаимодействия электронного пучка с ячейкой памяти для реализации процесса оценки ее состояния.

Держатели документа:
ТОНБ

Доп. точки доступа:
Гасников, А. О. (кандидат технических наук)
Ершов, М. И.
Трушлякова, В. В. (кандидат технических наук)
Макаревская, Е. А.


Имеются экземпляры в отделах:
УЧЗПИ (4 этаж) (10.01.2018г. Экз. 1 - ) (свободен)