Метод ступенчатого травления оптического волокна / М. Г. Васильев [и др.] // Журнал неорганической химии. - 2016. - Т. 61, № 9. - С. 1218-1220 : рис. - Библиогр.: с. 1220 (10 назв.)
. - ISSN 0044-457X
ББК 24.57 + 24.43
Рубрики:
Химия
Электрохимия
Химические методы анализа
Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- оптическое волокно -- состав -- ступенчатое травление
Аннотация: Рассмотрен метод ступенчатого травления оптического волокна с использованием различных составов травителей на основе 40%-ной плавиковой кислоты и водных растворов фтористого аммония. Показана перспективность использования данного метода в производстве приборов микроэлектроники.
Держатели документа:
ТОНБ
Доп. точки доступа:
Васильев, М. Г.
Васильев, А. М.
Голованов, В. В.
Изотов, А. Д.
Шелякин, А. А.
Имеются экземпляры в отделах:
УЧЗПИ (4 этаж) (19.10.2016г. Экз. 1 - ) (свободен)
|