Влияние температуры на скорость роста нитевидных нанокристаллов диоксида олова, сформированных методом физического осаждения из парогазовой фазы / В. В. Симаков [и др.] // Журнал технической физики. - 2016. - Т. 86, № 4. - С. 96-100. - Библиогр.: c. 99-100 (16 назв. )
. - ISSN 0044-4642
ББК 22.375
Рубрики:
Физика
Термодинамика твердых тел
Кл.слова (ненормированные): диоксид олова -- нанокристаллы -- нитевидные нанокристаллы -- скорость роста нанокристаллов -- осаждение из парогазовой фазы -- нуклеация -- прекурсоры
Аннотация: Представлены результаты исследований влияния температуры на скорость вертикального роста функциональных наноразмерных структур диоксида олова, сформированных методом физического осаждения из парогазовой фазы. Предложена модель процесса формирования нанокристаллов диоксида олова, которая адекватно описывает экспериментально наблюдаемые закономерности влияния температуры зоны осаждения в исследуемом диапазоне на скорость роста нанокристаллов. Получена аналитическая связь между скоростью роста нитевидного нанокристалла, его геометрическими параметрами, свойствами материала нанокристалла и подложки, технологическими параметрами процесса формирования. Установлено, что скорость роста кристаллов возрастает при увеличении температуры в зоне осаждения, что может быть обусловлено активационным характером процессов нуклеации и транспорта массы прекурсора по поверхности подложки и боковой поверхности нанокристаллов.
Держатели документа:
ТОНБ
Доп. точки доступа:
Симаков, В. В.
Синев, И. В.
Смирнов, А. В.
Гребенников, А. И.
Имеются экземпляры в отделах:
УЧЗПИ (4 этаж) (08.06.2016г. Экз. 1 - ) (свободен)
|