Влияние материала металлического подслоя и геометрии осаждения на формирование текстуры в пьезоактивных пленках ZnO / А. Г. Веселов [и др.] // Журнал технической физики. - 2018. - Т. 88, № 1. - С. 98-106. - Библиогр.: c. 105-106 (23 назв. )
. - ISSN 0044-4642
ББК 22.372
Рубрики:
Физика
Механические и акустические свойства монокристаллов
Кл.слова (ненормированные): пьезоактивные пленки -- оксид цинка -- осаждение пленок -- металлические подслои -- магнетронное распыление -- гиперзвук
Аннотация: Исследовано влияние материала металлического подслоя (алюминий, ванадий, хром, железо, кобальт, никель, медь) и геометрии осаждения на формирование наклонной и прямой текстуры в пленках ZnO, синтезируемых в магнетронной распылительной системе на постоянном токе. Установлено, что пьезоактивные пленки ZnO с наклонной текстурой, способные возбуждать сдвиговые волны, формируются на металлических подслоях Cr и V в сдвиговой геометрии осаждения (подложка смещена относительно оси магнетрона в область эрозии мишени). Пьезоактивные пленки ZnO с прямой текстурой, способные возбуждать продольные волны, сформированы в симметричной геометрии осаждения (подложка расположена по центру мишени) на химически чистом Al подслое. Изменение материала подслоя для каждой из геометрий осаждения или предварительное окисление подслоя привело к формированию пьезоактивных пленок ZnO со смешанной текстурой, возбуждающих сетку сдвиговых и продольных волн. С использованием метода химического травления показано, что получаемые пленки ZnO с наклонной текстурой проявляют пьезоактивные свойства и способны возбуждать гиперзвук начиная с толщины ~0. 3 mum, а пленки ZnO с прямой текстурой с толщины ~0. 9 mum.
Держатели документа:
ТОНБ
Доп. точки доступа:
Веселов, А. Г.
Елманов, В. И.
Кирясова, О. А.
Никулин, Ю. В.
Имеются экземпляры в отделах:
УЧЗПИ (4 этаж) (26.01.2018г. Экз. 1 - ) (свободен)
|