Синтез тонких пленок на основе ZnO, допированных Ga, In, и определение их состава методами рентгеновской спектроскопии и масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой / Д. Г. Филатова [и др.] // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2016. - Т. 82, № 11. - С. 17-21. - Библиогр.: с. 21 (8 назв. )
. - ISSN 1028-6861
ББК 24.46/48 + 24.12
Рубрики:
Химия
Физико-химические методы анализа
Химические элементы и их соединения
Кл.слова (ненормированные): тонкие пленки -- синтез тонких пленок -- цинк -- галлий -- индий -- допированные примеси -- рентгеновская спектроскопия -- масс-спектрометрия -- индуктивно-связанная плазма -- нанокристаллические слои -- синтезированные пленки -- локальная однородность
Аннотация: Предложен подход для исследования состава синтезированных тонких пленок на основе цинка, допированных In и Ga, с применением методов локального рентгеноспектрального анализа и масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой. Установлена зависимость содержания и распределения добавок в образце от условий синтеза на вращающихся подложках. Показано, что определение допирующих примесей с содержанием менее 1 % ат. возможно только методом масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой.
Держатели документа:
ТОНБ
Доп. точки доступа:
Филатова, Д. Г.
Воробьева, Н. А.
Румянцева, М. Н.
Барановская, В. Б.
Баранчиков, А. Е.
Иванов, В. К.
Гаськов, А. М.
Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден)
|