Влияние технологических погрешностей изготовления микросистемного вибрационного модулятора электрических полей на его характеристики = Influence of the Technological Errors of Manufacturing of the Microsystem Vibration Modulator of Electric Fields on its Characteristics / Р. Ю. Дорофеев [и др.] // Нано- и микросистемная техника. - 2017. - Т. 19, № 1. - С. 53-59 : 6 рис., табл. - Библиогр. в конце ст. (7 назв.). - Текст парал.: рус., англ.
. - ISSN 1813-8586
ББК 31.292
Рубрики:
Энергетика
Электрический нагрев
Кл.слова (ненормированные): вибрационные модуляторы -- микросистемные вибрационные модуляторы -- микросистемные модуляторы -- электрическое поле -- электрохимическое травление
Аннотация: Показана возможность изготовления работоспособного вибрационного модулятора при негативном влиянии процесса электрохимического травления.
Доп. точки доступа:
Дорофеев, Р. Ю.
Козлов, Д. В. (кандидат технических наук)
Смирнов, И. П.
Жуков, А. А. (доктор технических наук)
Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден)
|