Влияние температуры подложки при импульсном лазерном осаждении на свойства нанокристаллических пленок LiNbO[3] / З. Е. Вакулов [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2017. - Т. 81, № 12. - С. 1672-1676 : рис. - Библиогр.: c. 1676 (7 назв. )
. - ISSN 0367-6765
ББК 31.233
Рубрики:
Энергетика
Полупроводниковые материалы и изделия
Кл.слова (ненормированные): атомно-силовая микроскопия -- импульсное лазерное осаждение пленок -- ниобат лития -- растровая электронная микроскопия -- рентгеноструктурный анализ
Аннотация: Представлены результаты исследований влияния температуры подложки при импульсном лазерном осаждении пленок LiNbO[3] на их морфологические, электрофизические, структурные и оптические параметры. Установлено, что пленки, формируемые при температурах от 300°C до 600°C, имеют нанокристаллическую структуру с преобладанием кристаллитов с ориентацией граней (110), (1010) и (220). Показатель преломления полученных пленок в диапазоне длин волн 500-800 нм изменяется от 2. 13 до 2. 26.
Держатели документа:
ТОНБ
Доп. точки доступа:
Вакулов, З. Е.
Замбург, Е. Г.
Голосов, Д. А.
Завадский, С. М.
Мяконьких, А. В.
Клементе, И. Э.
Руденко, К. В.
Достанко, А. П.
Агеев, О. А.
Имеются экземпляры в отделах:
УЧЗПИ (4 этаж) (15.01.2018г. Экз. 1 - ) (свободен)
|