Акустоэлектронный нанобиосенсор / А. Е. Мельников [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2019. - Т. 83, № 1. - С. 62-65. - Библиогр.: c. 65 (2 назв. )
. - ISSN 0367-6765
ББК 26.303 + 22.325
Рубрики:
Геология
Минералогия
Физика
Распространение звука
Кл.слова (ненормированные): нанострансдьюсеры -- негативная электронно-лучевая нанолитография -- ниобат лития -- система встречно-штыревых электродов -- фотолитография
Аннотация: Разработана технология, реализующая две разномасштабные структуры на монокристаллической пьезоэлектрической подложке ниобата лития. С помощью методов фотолитографии изготовлена система встречно-штыревых электродов для акустической линии задержки, работающей в диапазоне 2–3 МГц, совмещенная с нанострансдьюсерами с характерным размером 60-80 нм, изготовленными с использованием негативной электронно-лучевой нанолитографии.
Держатели документа:
ТОНБ
Доп. точки доступа:
Мельников, А. Е.
Солдатов, Е. С.
Кузнецова, И. Е.
Колесов, В. В.
Анисимкин, В. И.
Кашин, В. В.
Имеются экземпляры в отделах:
УЧЗПИ (4 этаж) (14.03.2019г. Экз. 1 - ) (свободен)
|