Рогов, Евгений. Напыляет СИГМА / Е. Рогов // Изобретатель и рационализатор. - 2015. - № 1. - С. 7 : 1 рис. . - ISSN 0130-1802
Рубрики: Машиностроение Отраслевое машиностроение Кл.слова (ненормированные): напыление -- напыление пленки -- инертные газы -- сигма Аннотация: О методе СИГМА, суть которого заключается в использовании высокоскоростной струи инертного газа для доставки компонентов пленки к подложке. Держатели документа: ТОНБ Имеются экземпляры в отделах: ОПТЛиНД (02.02.2015г. Экз. 1 - Б.ц.) (свободен) |