Ершов, Александр. Атомная точность / Александр Ершов // Популярная механика = Popular Mechanics. - 2017. - № 9. - С. 42-43 : ил.
Рубрики: Энергетика -- США Электротехнические материалы и изделия в целом Кл.слова (ненормированные): микроэлектромеханические системы -- аксельрометры -- кремниевые механизмы -- кремний -- производства часов Аннотация: Об использовании кремниевых механизмов в микроэлектромеханических системах. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: DARPA, управления перспективных исследовательских проектов. 2 \о нем\ Министерство обороны. 2 \управления перспективных исследовательских проектов\ Министерства энергетики. 2 \сандийские национальные лаборатории\ Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (06.09.2017г. Экз. 1 - ) (свободен) |