Гращенко, А. С. Исследование упругих свойств пленок SiC, синтезированных на подложках Si методом замещения атомов / А. С. Гращенко, С. А. Кукушкин, А. В. Осипов // Физика твердого тела. - 2019. - Т. 61, вып. 12. - С. 2313-2315 : 3 рис. - Библиогр. в конце ст. (13 назв.) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика Физика полупроводников и диэлектриков -- Россия -- Санкт-Петербург, 2019 г. Кл.слова (ненормированные): sic -- юнга модуль -- атомное замещение -- доклады -- карбид кремния -- конференции -- модуль юнга -- наноиндентирование -- пленки sic Аннотация: Исследованы упругие свойства наномасштабной пленки карбида кремния, выращенной на кремниевой подложке методом замещения атомов. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Кукушкин, С. А. Осипов, А. В. Имеются экземпляры в отделах: УЧЗПИ (4 этаж) (20.01.2020г. Экз. 1 - ) (свободен) |