Кузнецова, Анна Сергеевна. Контроль состава и утилизация фторсодержащих газовых смесей для эксимерных лазеров / А. С. Кузнецова, Г. М. Мочалов, С. С. Суворов // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2019. - Т. 85, № 11. - С. 26-30. - Библиогр.: с. 30 (10 назв. ) . - ISSN 1028-6861
Рубрики: Химия Физико-химические методы анализа Кл.слова (ненормированные): контроль состава смесей -- состав фторсодержащих смесей -- фторсодержащие газовые смеси -- газовые смеси -- эксимерные лазеры -- экологическая безопасность -- активация адсорбента -- адсорбционная емкость -- адсорбция фтора -- оксид алюминия -- анализ фторсодержащих смесей -- газообразные отходы -- газовые лазеры -- адсорбционная активность оксидов -- галогенсодержащие активаторы -- нелетучий фторид калия -- калий -- свободный бром -- бром -- активированные сорбенты -- йод -- активация поверхности сорбента -- деградировавшие газовые смеси -- утилизация деградированных смесей Аннотация: Описана методика анализа фторсодержащих газовых смесей для эксимерных лазеров, которая позволяет определять от 0, 1 до 5 % мол. фтора с относительной погрешностью не более 6 % и представлена установка для контроля состава этих смесей. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Мочалов, Георгий Михайлович Суворов, Сергей Сергеевич Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |