Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Побат Д. В., Соловьев В. А., Чернов М. Ю., Иванов С. В. Заглавие : Распределение дислокаций несоответствия и упругих механических напряжений в метаморфных буферных слоях InAlAs разной конструкции Серия: Полупроводники Место публикации : Физика твердого тела. - 2021. - Т. 63, вып. 1. - С.85-90: 4 рис. - ISSN 0367-3294 (Шифр Ф6/2021/63/1). - ISSN 0367-3294 Примечания : Библиогр. в конце ст. (16 назв.) УДК : 537.311.33 ББК : 22.379 Предметные рубрики: Физика Физика полупроводников и диэлектриков Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): inalas--буферные слои inalas--гетероструктуры--дислокации несоответствия--метаморфные гетероструктуры--упругие напряжения Аннотация: Проведен расчет равновесных распределений плотности дислокаций несоответствия и упругих напряжений вдоль направления эпитаксиального роста метаморфного буферного слоя InAlAs/GaAs (001) с высоким содержанием In (до 87 mol%) и разными профилями изменения состава: ступенчатым, линейным и корневым. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Побат, Д. В. Соловьев, В. А. Чернов, М. Ю. Иванов, С. В.