Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Платонов В. В., Генералов С. С., Смехова М. И., Амеличев В. В., Поломошнов С. А. Заглавие : Электростатический МЭМС-ключ на структуре кремний- стекло Серия: Элементы МНСТ Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 7. - С.43-47. - ISSN 1813-8586 (Шифр Н218/2013/7). - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 47 (4 назв.) УДК : 621.382 ББК : 32.852 Предметные рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): рабочее напряжение--металлизация из алюминия--электростатические актюаторы--подвижные электроды--мемс- переключатели--удаление жертвенного слоя Аннотация: Рассмотрены основные преимущества МЭМС-переключателей. Приведены результаты реализации конструкции кремний-стекло с балочным креплением подвижных электродов, не имеющей в технологии изготовления операцию удаления жертвенного слоя. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Платонов, В. В. Генералов, С. С. Смехова, М. И. Амеличев, В. В. Поломошнов, С. А.