Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.382/М 92 Автор(ы) : Мухуров Н. И., Ефремов Г. И., Жвавый С. П., Заглавие : Электростатические микрокоммутаторы . Ч. 1 : Плоскопараллельные включающие микрокоммутаторы/ Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый Серия: Элементы МНСТ Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 10. - С. С. 42-47. - ISSN 1813-8586 (Шифр Н218/2013/10). - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 47 (14 назв.) УДК : 621.382 ББК : 32.852 Предметные рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): плоскопараллельные конструкции--формулы расчета основных параметров--микрокоммутаторы--электростатические включающие--микроэлектроника Аннотация: Рассмотрены теоретические основы и проведены расчеты параметров электростатических включающих микрокоммутаторов плоскопараллельной конструкции. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Ефремов, Г. И. Жвавый, С. П.