Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Абдуллаев Д. А. Заглавие : Изменение набора применяемых материалов при уменьшении топологических норм производства интегральных микросхем Серия: Материаловедческие и технологические основы МНСТ Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 5. - С.32-38: 7 рис., 3 табл. - ISSN 1813-8586 (Шифр Н218/2014/5). - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 37 (23 назв.) УДК : 621.382 ББК : 32.852 Предметные рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): алюминиевые межсоединения--диэлектрики--интегральные микросхемы--медные межсоединения--микроэлектроника--топологические нормы Аннотация: Описывается, как изменяется набор используемых материалов в производстве интегральных микросхем при переходе от топологических норм 180 нм к топологических нормам 32 и 22 нм. Держатели документа: ТОНБ