Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Сивченко А. С., Кузнецов Е. В. Заглавие : Методики анализа основных характеристик надежности в КМОП ИС с помощью тестовых структур в составе пластин Серия: Моделирование и конструирование МНСТ Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С.7-9. - ISSN 1813-8586 (Шифр Н218/2014/6). - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 9 (6 назв.) УДК : 621.382 ББК : 32.852 Предметные рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): моп-транзисторы--интегральные системы--надежность--пластины--полупроводниковые структуры--тестовые структуры Аннотация: Представлены методики, позволяющие с помощью ускоренных измерений тестовых структур в составе пластин определять время наработки до отказа линии металлизации и деградацию параметров МОП-транзисторов под действием горячих носителей. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Кузнецов, Е. В.