Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Артемова А. И., Михайлов Ю. А., Панков В. В., Суханов В. С. Заглавие : Оптимизация конструкции чувствительного элемента давления с распределенным жестким центром с помощью компьютерного трехмерного моделирования Серия: Моделирование и конструирование МНСТ Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 7. - С.34-37: 7 рис. - ISSN 1813-8586 (Шифр Н218/2014/7). - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 37 (4 назв.) УДК : 004.94 ББК : 32.973-018.2 Предметные рубрики: Вычислительная техника Имитационное компьютерное моделирование Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): жесткие центры--конструкции чувствительных элементов--кремниевые элементы--методы оптимизации--трехмерное моделирование--чувствительные элементы Аннотация: Представлен метод оптимизации конструкции кремниевого чувствительного элемента давления с распределенным жестким центром. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Артемова, А. И. Михайлов, Ю. А. (кандидат технических наук) Панков, В. В. Суханов, В. С.