Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Тимошков Ю. В., Курмашев В. И., Тимошков В. Ю., Сакова А. А. Заглавие : Формирование прецизионных 3D-микроструктур методом LIGA-like-технологии для компонентов МЭМС Серия: Материаловедческие и технологические основы МНСТ Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 10. - С.40-43: 6 рис. - ISSN 1813-8586 (Шифр Н218/2014/10). - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр.: с. 43 (2 назв.) УДК : 621.3 ББК : 31.2 Предметные рубрики: Энергетика Электротехника в целом Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): 3d-микроструктуры--liga-like-технология--мэмс--компоненты мэмс--метод liga-like-технология--микроэлектромеханические системы--фоторезисты--элементы мэмс Аннотация: Представлены результаты исследования технологических особенностей формирования элементов микроэлектромеханических систем методом LIGA-like-технологии. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Тимошков, Ю. В. (кандидат технических наук) Курмашев, В. И. (доктор технических наук) Тимошков, В. Ю. Сакова, А. А.