Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Абдуллаев Д. А., Зубкова Е. Н., Воротилов К. А. Заглавие : Реактивно-ионное травление пленок цирконата-титаната свинца : обзор Серия: Материаловедческие и технологические основы МНСТ Место публикации : Нано- и микросистемная техника. - 2015. - № 1. - С.19-26: 2 рис., 3 табл. - ISSN 1813-8586 (Шифр Н218/2015/1). - ISSN 1813-8586 Примечания : Библиогр. в конце ст. (18 назв.) УДК : 621.382 ББК : 32.852 Предметные рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Аннотация: Рассмотрены вопросы реактивно-ионного травления пленок цирконата-титаната свинца в процессах создания интегрированных сегнетоэлектрических устройств, в том числе пьезоэлектрических МЭМС-устройств. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Зубкова, Е. Н. Воротилов, К. А. (доктор технических наук)