Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 536.42/С 73 Автор(ы) : Ильичев Э. А., Кириленко Е. П., Петрухин Г. Н., Рычков Г. С., Сахаров О. А., Хамдохов З. М., Хамдохов Э. З., Чернявская Е. С., Шупегин М. Л., Щекин А. А., Заглавие : Способ формирования графеновых пленок / Э. А. Ильичев, Е. П. Кириленко, Г. Н. Петрухин и др. Коллективы : Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф. В. Лукина, Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф. В. Лукина, Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф. В. Лукина, Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф. В. Лукина, Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф. В. Лукина, Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф. В. Лукина, Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф. В. Лукина, Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф. В. Лукина, Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф. В. Лукина, Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф. В. Лукина Серия: Физическое материаловедение Место публикации : Журнал технической физики. - 2014. - Т. 84, № 7. - С. С. 62-66. - ISSN 0044-4642 (Шифр Ж9/2014/7). - ISSN 0044-4642 Примечания : Библиогр.: c. 66 (10 назв. ) УДК : 536.42 ББК : 22.375 Предметные рубрики: Физика Термодинамика твердых тел Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): графеновые пленки--графен--термодиффузия--углерод--нанопленки--фазовые переходы--квазижидкости Аннотация: В настоящей статье предлагается и исследуется метод формирования графеновых пленок посредством термодиффузии атомов углерода из аморфной углеродной либо кремний-углеродной пленок наноразмерной толщины сквозь пленку катализатора, их накопления на границе раздела каталитический слой/барьерный слой с последующей организацией фазового перехода углеродная "квазижидкость" - графен. Одним из преимуществ такого способа изготовления пленок графена является возможность их формирования непосредственно на диэлектрическом слое и последующего вывешивания ее с помощью мембранных технологий над поверхностью подложки, что исключает необходимость в использовании сложных процедур отделения графеновой пленки от подложки. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Ильичев, Э. А. Кириленко, Е. П. Петрухин, Г. Н. Рычков, Г. С. Сахаров, О. А. Хамдохов, З. М. Хамдохов, Э. З. Чернявская, Е. С. Шупегин, М. Л. Щекин, А. А. Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф. В. Лукина |