Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Болдыревский П. Б., Филатов Д. О., Казанцева И. А., Ревин М. В., Смотрин Д. С., Юнин П. А. Заглавие : Влияние частоты вращения дискового подложкодержателя на кристаллоструктурные характеристики слоев арсенида галлия, формируемых в процессе MOCVD эпитаксии Серия: Физическое материаловедение Место публикации : Журнал технической физики. - 2018. - Т. 88, № 2. - С.219-223. - ISSN 0044-4642 (Шифр Ж9/2018/2). - ISSN 0044-4642 Примечания : Библиогр.: c. 223 (8 назв. ) УДК : 539.2 ББК : 22.37 Предметные рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): mocvd эпитаксия--арсенид галлия--эпитаксиальные слои--кристаллическая структура--дисковые подложкодержатели--газофазная эпитаксия--атомно-силовая микроскопия Аннотация: Изучено влияние частоты вращения дискового подложкодержателя на механизм роста и кристаллоструктурные характеристики слоев арсенида галлия, формируемых в процессе газофазной эпитаксии с использованием металлоорганических соединений и гидридов (MOCVD). Установлены зависимости скорости и механизма роста, общей степени совершенства кристаллической структуры слоев при изменении частоты вращения от 0 до 400 rpm. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Болдыревский, П. Б. Филатов, Д. О. Казанцева, И. А. Ревин, М. В. Смотрин, Д. С. Юнин, П. А.