Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Бадалян А. М., Поляков М. С., Каичев В. В., Надолинный В. А., Игуменов И. К. Заглавие : Образование "малоразмерных" летучих комплексов при осаждении пленок меди методом совмещенного синтеза-переноса Место публикации : Неорганические материалы. - 2013. - Т. 49, № 8. - С.833-838: 5 рис. - ISSN 0002-337Х (Шифр Н23/2013/8). - ISSN 0002-337Х Примечания : Библиогр.: с. 838 (18 назв. ) УДК : 621.382 ББК : 32.852 Предметные рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Аннотация: Методами ЭПР-, РФЭ- и ИК-спектроскопии исследованы стабильные продукты гетерогенного синтеза в процессах совмещенного синтеза-переноса при осаждении тонких пленок меди. Обнаружено, что синтезированные летучие соединения, конденсированные на твердых поверхностях, представляют собой формиатоподобные металлокомплексы меди (I). Определены механизмы образования мономерных летучих металлокомплексов на поверхностях дисперсного медьсодержащего прекурсора и механизм термического разложения металлокомплексов на нагретой подложке. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Бадалян, А. М. Поляков, М. С. Каичев, В. В. Надолинный, В. А. Игуменов, И. К.