Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Вакулов З. Е., Замбург Е. Г., Голосов Д. А., Завадский С. М., Мяконьких А. В., Клементе И. Э., Руденко К. В., Достанко А. П., Агеев О. А. Заглавие : Влияние температуры подложки при импульсном лазерном осаждении на свойства нанокристаллических пленок LiNbO[3] Место публикации : Известия РАН. Серия физическая. - 2017. - Т. 81, № 12. - С.1672-1676: рис. - ISSN 0367-6765 (Шифр И14/2017/12). - ISSN 0367-6765 Примечания : Библиогр.: c. 1676 (7 назв. ) УДК : 621.315.592.4 ББК : 31.233 Предметные рубрики: Энергетика Полупроводниковые материалы и изделия Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): атомно-силовая микроскопия--импульсное лазерное осаждение пленок--ниобат лития--растровая электронная микроскопия--рентгеноструктурный анализ Аннотация: Представлены результаты исследований влияния температуры подложки при импульсном лазерном осаждении пленок LiNbO[3] на их морфологические, электрофизические, структурные и оптические параметры. Установлено, что пленки, формируемые при температурах от 300°C до 600°C, имеют нанокристаллическую структуру с преобладанием кристаллитов с ориентацией граней (110), (1010) и (220). Показатель преломления полученных пленок в диапазоне длин волн 500-800 нм изменяется от 2. 13 до 2. 26. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Вакулов, З. Е. Замбург, Е. Г. Голосов, Д. А. Завадский, С. М. Мяконьких, А. В. Клементе, И. Э. Руденко, К. В. Достанко, А. П. Агеев, О. А.