Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Мельников А. Е., Солдатов Е. С., Кузнецова И. Е., Колесов В. В., Анисимкин В. И., Кашин В. В. Заглавие : Акустоэлектронный нанобиосенсор Место публикации : Известия РАН. Серия физическая. - 2019. - Т. 83, № 1. - С.62-65. - ISSN 0367-6765 (Шифр И14/2019/83/1). - ISSN 0367-6765 Примечания : Библиогр.: c. 65 (2 назв. ) УДК : 548:53 + 534.22 ББК : 26.303 + 22.325 Предметные рубрики: Геология Минералогия Физика Распространение звука Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанострансдьюсеры--негативная электронно-лучевая нанолитография--ниобат лития--система встречно-штыревых электродов--фотолитография Аннотация: Разработана технология, реализующая две разномасштабные структуры на монокристаллической пьезоэлектрической подложке ниобата лития. С помощью методов фотолитографии изготовлена система встречно-штыревых электродов для акустической линии задержки, работающей в диапазоне 2–3 МГц, совмещенная с нанострансдьюсерами с характерным размером 60-80 нм, изготовленными с использованием негативной электронно-лучевой нанолитографии. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Мельников, А. Е. Солдатов, Е. С. Кузнецова, И. Е. Колесов, В. В. Анисимкин, В. И. Кашин, В. В.