Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Анфимов И. М., Кобелева С. П., Малинкович М. Д., Щемеров И. В. Заглавие : Применение бесконтактного СВЧ метода для анализа однородности поверхностного электросопротивления слоев кремний-углеродных пленок со структурой нанокомпозита Серия: Исследование структуры и свойств .     Физические методы исследования и контроля Место публикации : Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2013. - Т. 79, № 4. - С.37-40. - ISSN 1028-6861 (Шифр З14/2013/4). - ISSN 1028-6861 Примечания : Библиогр.: с. 40 (2 назв. ) УДК : 621.382 ББК : 32.852 Предметные рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): бесконтактные методы анализа--свч метод--электросопротивление слоев пленок--слои пленок--поверхностное электросопротивление--однородность поверхностного электросопротивления--кремний-углеродные пленки--нанокомпозитные пленки Аннотация: Показано, что бесконтактным СВЧ методом можно измерять поверхностное электросопротивление кремний-углеродных пленок со структурой нанокомпозита в интервале от 50 до 100000 Ом/см{2}. Держатели документа: ТОНБ Доп. точки доступа: Анфимов, И. М. Кобелева, С. П. Малинкович, М. Д. Щемеров, И. В.