Тюменская областная научная библиотека

Базы данных

Журналы. Газеты. Статьи- результаты поиска

Вид поиска

Электронный каталог книг

Патентная и нормативно-техническая документация

Краеведение

Журналы. Газеты. Статьи

КОЛЛЕКЦИИ

Область поиска

Найдено в других БД:

Краеведение (8)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>A=Тимошков, Ю.$<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Формирование прецизионных 3D-микроструктур методом LIGA-like-технологии для компонентов МЭМС / Ю. В. Тимошков [и др.] // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 10. - С. 40-43 : 6 рис. - Библиогр.: с. 43 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586

УДК

^a621.3

ББК 31.2

Рубрики:
Энергетика
Электротехника в целом

Кл.слова (ненормированные): 3d-микроструктуры -- liga-like-технология -- мэмс -- компоненты мэмс -- метод liga-like-технология -- микроэлектромеханические системы -- фоторезисты -- элементы мэмс
Аннотация: Представлены результаты исследования технологических особенностей формирования элементов микроэлектромеханических систем методом LIGA-like-технологии.

Держатели документа:
ТОНБ

Доп. точки доступа:
Тимошков, Ю. В. (кандидат технических наук)
Курмашев, В. И. (доктор технических наук)
Тимошков, В. Ю.
Сакова, А. А.

Имеются экземпляры в отделах:
УЧЗПИ (4 этаж) (06.11.2014г. Экз. 1 - ) (свободен)

Найти похожие

Тематический навигатор

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)